Безмасляний повітряний компресор для лабораторій напівпровідників

Щоб встановити надійні лінії електропостачання для точних дослідницьких установок, постачайтеся від китайських постачальників безмасляних повітряних компресорів для лабораторій Semiconductor Labs. У рішеннях DECHUAN для повітря високої чистоти використовуються багатошарові вугільні ізоляційні ущільнювачі для усунення слідів вуглеводнів, забезпечуючи первинну якість газу для критичного травлення кремнію.

Критичні вимоги до чистоти газу для чистих приміщень

У виробництві напівпровідників і тонкоплівковій літографії навіть одна мікроскопічна крапля масляної пари, що переноситься через повітряну лінію, може зруйнувати всю виробничу партію. Цей спеціалізований продукт розроблено відповідно до найвищих стандартів чистоти:

• Подача повітря класу 0, сертифікована TÜV: наші системи проходять суворі випробування при змінних робочих температурах. Незалежний аналіз підтверджує абсолютну відсутність слідів масла у вихідному потоці повітря.

• Захищені від корозії внутрішні повітропроводи: кожен шматок трубопроводу, пучка охолоджувача та роздільної матриці після камери стиснення виготовлено з високоякісної нержавіючої сталі, щоб запобігти забрудненню повітропроводів чистих приміщень пластівцями іржі.

• Розширена інтеграція з Elektronikon®: інтегрований контролер ретельно відстежує робочі показники та має проактивні захисні відключення, щоб уникнути потрапляння забрудненого повітря в лабораторну мережу.

Висока вартість мікрозабруднення в електроніці

У виробництві напівпровідникових пластин одна крапля масляного аерозолю може забруднити все середовище чистого приміщення, знищивши тисячі кремнієвих пластин і спричинивши мільйони втрат виробничого часу. Традиційні повітряні компресори не можуть гарантувати абсолютно нульову чистоту вуглеводнів, необхідну для цих процесів нанометрового масштабу.

Спеціалізований безмасляний повітряний компресор для Semiconductor Labs гарантує чисту безпеку процесу:

• Сертифікований повітряний потік КЛАСУ 0: суворо перевірено TÜV у екстремальних температурних діапазонах і діапазонах тиску, щоб гарантувати абсолютну відсутність масла.

• Внутрішні елементи без частинок: попередні охолоджувачі з нержавіючої сталі та теплообмінники зі зіркоподібними ребрами усувають пластівці окислення або хімічні виділення в повітрі.

• Електронний щит моніторингу: попереджувальні сигнали про технічне обслуговування та автоматичне відключення при несправності запобігають відхиленням системи до того, як вони досягнуть ваших інструментів чистої кімнати.

Параметри технічної чистоти

• Номінальна потужність системи: конфігурації високої щільності від 55 кВт до 900 кВт.

• Об'ємна швидкість подачі: 4,2 - 148,5 м³/хв вихід чистого потоку.

• Класифікація вмісту масла: ISO 8573-1, клас 0, перевірка повністю без масла.

• Схема охолодження: рідинне охолодження з нержавіючої сталі запобігає виділенню хімічних газів.

Еталонні умови продуктивності для пристрою були виміряні відповідно до Додатку C, 4-е видання (2009) ISO 1217:

· Відносна вологість: 0%

· Абсолютний вхідний тиск: 1 бар

· Температура на вході: 20°C Швидкість викиду (FAD) вимірювалася при таких робочих тисках:

Тип постійної швидкості:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип VSD:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10,4 бар тип: 9 бар

· (2) Зважений рівень звукового тиску робочої станції за класом А (LpWSAd). Виміряно відповідно до ISO 2151:2004 (з використанням методу сканування інтенсивності звуку 150 9614/2). Щойно доданий коригувальний коефіцієнт є абсолютно невизначеним значенням (KpAd), що відповідає тестовому коду.

· (3) Вага лише для довідки; фактична надана вага має переважати.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Відповідно до стандарту ISO 1217 Додаток C, 4-е видання (2009), стандартні умови продуктивності агрегату такі:

· Відносна вологість: 0%

· Абсолютний вхідний тиск: 1 бар

· Температура на вході: 20°C

Об’єм FAD вимірюється при таких робочих тисках:

Моделі з постійною швидкістю:

-7,5 бар моделі: 7 бар

-8,6 бар моделі: 7 бар

-Моделі на 10 бар: 9 бар

Моделі VSD:

-8,6 бар моделі: 7 бар

-10,4 бар моделі: 9 бар

(2) Зважений рівень звукового тиску робочої станції за класом А (LpWSAd). Виміряно відповідно до ISO 2151:2004 (метод сканування інтенсивності звуку ISO 9614/2). Нещодавно доданий коригувальний коефіцієнт KpAd є невизначеним і відповідає тестовому коду.

(3) V1=380В, V2=400В.

(4) Вага лише для довідки; фактична вага має перевагу.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Відносна вологість: 0%

-Абсолютний вхідний тиск: 1 бар

-Температура на вході: 20°℃

Швидкість викиду (FAD) вимірювалася при наступних робочих тисках

Тип постійної швидкості:

-7,5 бар тип: 7 бар

-8,6 бар тип: 7 бар

-10 бар типу: 9 бар

Тип VSD:

-8,6 бар тип: 7 бар

-10,4 бар тип: 9 бар

(2) Зважений рівень звукового тиску робочої станції за класом А (LpWSAd).

Виміряно відповідно до ISO 2151:2004 (з використанням 150 9614/2 (метод сканування інтенсивності звуку).

Щойно доданий коригувальний коефіцієнт є абсолютно невизначеним значенням (KpAd), що відповідає тестовому коду.

(3) Вага лише для довідки; фактична надана вага має переважати.

300-750 ZR

Еталонні умови продуктивності для пристрою були виміряні відповідно до Додатку C, 4-е видання (2009) ISO 1217:

· Відносна вологість: 0%

· Абсолютний вхідний тиск: 1 бар

· Температура на вході: 20°C Швидкість викиду (FAD) вимірювалася при таких робочих тисках:

Тип постійної швидкості:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип VSD:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10,4 бар тип: 9 бар

· (2) Зважений рівень звукового тиску робочої станції за класом А (LpWSAd). Виміряно відповідно до ISO 2151:2004 (з використанням методу сканування інтенсивності звуку 150 9614/2). Щойно доданий коригувальний коефіцієнт є абсолютно невизначеним значенням (KpAd), що відповідає тестовому коду.

· (3) Вага лише для довідки; фактична надана вага має переважати.

ZR 200X-400X

Еталонні умови продуктивності для пристрою були виміряні відповідно до Додатку C, 4-е видання (2009) ISO 1217:

· Відносна вологість: 0%

· Абсолютний вхідний тиск: 1 бар

· Температура на вході: 20°C Швидкість викиду (FAD) вимірювалася при таких робочих тисках:

Тип постійної швидкості:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип VSD:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10,4 бар тип: 9 бар

· (2) Зважений рівень звукового тиску робочої станції за класом А (LpWSAd). Виміряно відповідно до ISO 2151:2004 (з використанням методу сканування інтенсивності звуку 150 9614/2). Щойно доданий коригувальний коефіцієнт є абсолютно невизначеним значенням (KpAd), що відповідає тестовому коду.

· (3) Вага лише для довідки; фактична надана вага має переважати.

Приклад використання лабораторії чистих приміщень

Виробник електроніки в Азії встановив спеціалізовану повітряну систему DECHUAN для забезпечення контурів генерації азоту високої чистоти та пневматичних випробувальних рук. Раніше стандартні компресори дозволяли незначним масляним парам мігрувати повз вбудовані фільтри, покриваючи літографічні лінзи та викликаючи мікротріщини в покритті пластин. Після встановлення безмасляного повітряного компресора для лабораторій Semiconductor Labs лабораторія повідомила про нульову кількість інцидентів, пов’язаних із забрудненням магістралі маслом, що заощадило значні витрати на очищення чистих приміщень і повторне калібрування протягом двох років безперервної роботи.

Спеціальне налаштування та контроль компонентів

• Оновлення матеріалу з нержавіючої сталі: ми замінюємо всі стандартні внутрішні литі компоненти на високоякісну нержавіючу сталь, щоб відповідати суворим вимогам щодо мікрозабруднення.

• Розширені протоколи зв’язку: пристрій попередньо завантажено спеціалізовані протоколи зв’язку, що дозволяє центрам керування чистими приміщеннями дистанційно контролювати показники повітря.

• Компактний структурний слід: внутрішнє планування оптимізовано для мінімізації займаної площі, що полегшує установку в тісних підсобних приміщеннях лабораторії.

Часті запитання для промислових покупців

З: Чи можна підключити цей компресор безпосередньо до контурів фільтрації надвисокої чистоти (UHP)?

Відповідь: Так, наша подача повітря повністю сумісна з передовими адсорбційними сушарками для чистих приміщень і системами фільтрації субмікронних часток. Оскільки сире повітря не містить масляних парів, ваші спеціалізовані фільтри на місці використання не забиватимуться масляним туманом, подовжуючи термін служби фільтра.

З: Як ущільнення Z-типу забезпечують нульову міграцію масла з редуктора?

A: Безмасляний повітряний компресор для Semiconductor Labs має фізичний атмосферний вентиляційний простір між змащеним маслом корпусом редуктора та камерою сухого стиснення. Спеціалізовані безконтактні вугільні кільцеві ущільнювачі поєднані з каналами негативного тиску, що гарантує, що будь-який туман трансмісійного масла повністю блокується від потрапляння в потік чистого повітря.

З: Що станеться, якщо внутрішній датчик температури виявить ненормальне показання?

В: Контролер Elektronikon® збирає важливі дані кілька разів на секунду. Якщо на будь-якому етапі виявлено стрибок температури, система миттєво запускає автоматичне відключення та закриває запірні клапани, гарантуючи, що неохолоджене повітря ніколи не тече вниз за потоком до чутливого обладнання вашої лабораторії.